无锡冠亚
Chiller 直冷型
气体控温系统 4214
半导体行业广泛应用
适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程，对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温
| 型号 | ZLJ-41.0 ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5 ZLJ-41.5W | ZLJ-42 ZLJ-42W | ZLJ-43 ZLJ-43W | ZLJ-44 ZLJ-44W | ZLJ-46 ZLJ-46W | ZLJ-48 ZLJ-48W |
| 温度范围 | -40℃～-15℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.5℃ 控制蒸发温度 | ||||||
| 制冷@-35℃ | 0.5kw | 0.7kw | 1kw | 1.6kw | 2.1kw | 3.2kw | 4kw |
| 制冷剂 | R404A 可选配R507C R448 | ||||||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||||||
| 电源 | 220V 50HZ | 380V 50HZ 可定制220V | |||||
| 断路器 | 6A | 6A | 10A | 6A | 10A | 16A | 16A |
| 型号 | ZLJ-81.0 ZLJ-81.0W | ZLJ-81.5 ZLJ-81.5W | ZLJ-82 ZLJ-82W | ZLJ-83 ZLJ-83W | ZLJ-84 ZLJ-84W | ZLJ-86 ZLJ-86W | ZLJ-88 ZLJ-88W |
| 温度范围 | -80℃～-50℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.5℃ 控制蒸发温度 | ||||||
| 制冷@-70℃ | 0.37kw | 0.5kw | 0.75kw | 1.1kw | 1.5kw | 2.6kw | 3.1kw |
| 制冷剂 | R404A/R508B | ||||||
| 高温降温 | 具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力 | ||||||
| 电源 | 220V 50HZ | 380V 50HZ 可定制220V | |||||
| 断路器 | 10A | 16A | 25A | 16A | 16A | 25A | 32A |
| 型号 | SLJ-3W | SLJ-4W | SLJ-6W | SLJ-11W |
| 温度范围 | -150℃～-110℃ | |||
| 制冷@-120℃ | 3KW | 4KW | 6KW | 11KW |
| 制冷@-135℃ | 2.5KW | 3.3KW | 5KW | 9KW |
| 制冷剂 | LNEYA -150混合制冷剂 | |||
| 电源 | 380V 50HZ | |||
| 断路器 | 25A | 32A | 50A | 80A |
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