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快速温变控温卡盘

快速温变控温卡盘

该产品可以实现快速温度变化,精准控制温度。系统本⾝⾃带制冷机,避免了液氮、⼆氧化碳等的消耗,每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元。

系统提供开放的表⾯平整⼯作平台,快速升降温、恒温控制,运⽤于RF器件和⾼密度功率器件测试,也可以运⽤于实验室平板快速冷却(⾎浆、⽣物制品、电池)等平板内部采⽤制冷剂直接蒸发⽅式,相对液冷⽅式⼤幅度提⾼了换热效率,提⾼单位⾯积平板的换热功率。

快速温变控温卡盘CHUCK

该产品可以实现快速温度变化,精准控制温度。系统本⾝⾃带制冷机,避免了液氮、⼆氧化碳等的消耗,每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元。

系统提供开放的表⾯平整⼯作平台,快速升降温、恒温控制,运⽤于RF器件和⾼密度功率器件测试,也可以运⽤于实验室平板快速冷却(⾎浆、⽣物制品、电池)等

平板内部采⽤制冷剂直接蒸发⽅式,相对液冷⽅式⼤幅度提⾼了换热效率,提⾼单位⾯积平板的换热功率。

 

型号MD-708MD-712MDL-708
温度范围-75℃~225℃-75℃~225℃-75℃~225℃
控温精度±0.5℃(出口温度稳态)±0.5℃(出口温度稳态)±0.5℃(出口温度稳态)
平板温度均匀性±1℃±1℃±1℃
平板平整度±15um±15um±15um
平板尺寸直径200mm圆盘直径300mm圆盘150mm*200mm
主机与卡片连接线2.5m(可定制其他长度)
平板表面处理电镀镍(可选择电镀 黄金)
升温-60°C to +25°C: 2 min
0°C to +25°C: 2 min
+25°C to +220°C: 6 min
降温220°C to +25°C: 2 min
+25°C to -60°C: 6 min
控制系统PLC控制器,加热前馈PID模糊算法,制冷电子膨胀阀PID调节控制制冷量
显示与记录7寸彩色触摸屏,记录温度曲线
通讯以太网接口TCP/IP协议
制冷压缩机泰康压缩机
主机尺寸mm550*650*370550*650*370550*650*370

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