半导体高精准温度控制装置(支持非标定制)
半导体投入大,制造工序多,为了提高产品的良品率、确保收益,需要在半导体的每个环节进行质量把控,影响产品质量的其中一个重要因素就是温度,温度的稳定性及精准度非常重要,为获得稳定可靠的产品保驾护航。
冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验,我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务,有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。
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控温范围:-45°C ~ +40°C
特点:40°C以内加热方式采用压缩机热气加热全密闭设计,经过24小时连续运行拷机
应用:半导体生产过程及测试环节温度控制,保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠
型号 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
温度范围 | 5℃~40℃ |
型号 | FLT-202 | FLT-203 | FLT-204 | FLT-206 | FLT-208 | FLT-210 | FLT-215 |
FLT-202W | FLT-203W | FLT-204W | FLT-206W | FLT-208W | FLT-210W | FLT-215W | |
温度范围 | -25℃~40℃ |
型号 | FLT-402 | FLT-403 | FLT-404 | FLT-406 | FLT-408 | FLT-410 | FLT-415 |
FLT-402W | FLT-403W | FLT-404W | FLT-406W | FLT-408W | FLT-410W | FLT-415W | |
温度范围 | -45℃~40℃ |
控温范围:-30°C ~ +40°C
特点:控温精度可达±0.1°C
应用:半导体生产过程及测试环节温度控制,保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠
型号 | FLTZ-305W | FLTZ-305W/2T 双系统 | |
温度范围 | -30℃~40℃ | -30℃~40℃ |
控温范围:-100°C ~ +80°C
特点:控温精度可达±0.1°C
应用:半导体生产过程及测试环节温度控制,保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠
型号 | FLT-803W | FLT-805W | FLT-806W | FLT-808W | FLT-810W | FLT-1002W | FLT-1004W |
温度范围 | -80℃~+80℃ | -100℃~+80℃ |
控温范围:+5°C ~ +90°C
特点:控温精度可达±0.3°C
应用:半导体生产过程及测试环节温度控制,保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠
型号 | ETCU-005W | ETCU-008W | ETCU-015W | ETCU-030W |
温度范围 | 冷却水温度 +5℃~90℃ |
控温范围:-150℃~-110℃
特点:控温精度可达±0.5°C
应用:半导体生产过程及测试环节温度控制,保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠
型号 | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
温度范围 | -40℃~-15℃ |
型号 | ZLJ-81.0 | ZLJ-81.5 | ZLJ-82 | ZLJ-83 | ZLJ-84 | ZLJ-86 | ZLJ-88 |
ZLJ-81.0W | ZLJ-81.5W | ZLJ-82W | ZLJ-83W | ZLJ-84W | ZLJ-86W | ZLJ-88W | |
温度范围 | -80℃~-50℃ |
型号 | SLJ-3W | SLJ-4W | SLJ-6W | SLJ-11W |
温度范围 | -150℃~-110℃ |
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