深冷机

深冷机Chiller在半导体制造工艺中的应用

在半导体制造领域，准确的温度控制是确保产品质量与性能的要素之一。从晶圆制造过程中的氧化、扩散、光刻、蚀刻，到芯片封装阶段的固化、退火等工序，半导体行业用深冷机Chiller实现制冷制热的切换与准确控温，满...